閥門與切換面板的技術要求

1、減壓閥、半/全自動切換控制面板、隔膜閥的進氣口、出氣口連接宜采用 60°密封管螺紋(NPT 螺紋)或面密封接頭，60°密封管螺紋(NPT 螺紋)應符合 GB/T 12716 的相關規(guī)定。

2、球閥、針閥、單向閥、泄壓閥的進氣口、出氣口連接宜采用 60°密封管螺紋(NPT 螺紋)、焊 接管、卡套連接，60°密封管螺紋(NPT 螺紋)應符合 GB/T 12716 的規(guī)定，卡套連接應符合 ASTM F1387 —19 的相關規(guī)定。

3、減壓閥、半/全自動切換控制面板、隔膜閥、球閥、針閥、單向閥、泄壓閥所有與氣體接觸的零 件應經(jīng)過超聲波清洗，以達到去除雜質(zhì)和脫油脫脂的效果，清洗結果應符合 ASTM G93—2011 中11.4.3 LV-C 的相關規(guī)定。

4、減壓閥、半/全自動切換控制面板、隔膜閥的進氣口側宜配置 316L 過濾網(wǎng)或過濾片，其過濾精度不低于 150 µm，以防止雜質(zhì)進入閥內(nèi)對閥座產(chǎn)生不可逆的損傷。

5、半/自動切換面板應配置兩塊進氣壓力表，分別指示左右兩側氣源的壓力。

6、半/自動切換面板應配置一塊出氣壓力表，指示自動切換面板的出氣壓力。

7、半/自動切換面板出氣口應配置泄壓閥。

8、 半自動切換面板應實現(xiàn)雙側不間斷供氣的使用要求，配置要求應符合圖 1 的規(guī)定。

標引序號說明:

1——進氣隔膜閥；

2——排空隔膜閥；

3——左側減壓閥；

4——聯(lián)動切換組件；

5——右側減壓閥（分離式手柄或手輪）；

6——泄壓閥。 

9、全自動切換面板應滿足全自動實現(xiàn)雙側不間斷供氣的使用要求，配置要求應符合圖 2 的規(guī)定。

標引序號說明:

1——進氣隔膜閥；

2——排空隔膜閥；

3——減壓閥；

4——泄壓閥；

5——全自動切換器。 

10、帶吹掃功能的半自動切換面板應滿足雙側不間斷供氣的使用要求，并提供吹掃用隔膜閥和單向 閥，配置要求應符合圖 3 的規(guī)定。

標引序號說明：

1——進氣隔膜閥；

2——排空隔膜閥；

3——減壓閥；

4——泄壓閥；

5——聯(lián)動切換組件；

6——分離式手柄或手輪；

7——吹掃閥；

8——單向閥。 

11、半/全自動切換面板上應包含左右兩側的進氣隔膜閥及排空隔膜閥。在更換氣源時導致進氣隔 膜閥前端高壓連接管內(nèi)氣體被空氣污染的情況下，打開氣源將高純氣體通入連接管，再使用排空隔膜閥 將污染氣體排空。帶吹掃功能的半自動切換面板上除左右兩側進氣隔膜閥及排空隔膜閥外，配置專用的吹掃閥和單向閥，可實現(xiàn)引入第三方氣體對半自動切換面板前端氣體管路進行吹掃。

12、 半自動切換面板正常工作時，一側為主供氣側，另一側為備供氣側。優(yōu)先從主供氣側氣源供氣，隨著主供氣側氣源壓力下降到設定值時，備供氣側自動進行供氣。當更換主供氣側氣源時，應手動調(diào)整分離式手柄或手輪，或聯(lián)動切換組件，使主供氣側與備供氣側進行交換，進而保證左右兩側氣源輪流供氣。

13、全自動切換面板上的自動切換功能由全自動切換器來實現(xiàn)。全自動切換器為機械結構。隨著供氣側氣源的持續(xù)供氣，當氣源壓力降到面板的設定值時，自動切換到另一供側進行供氣。自動實現(xiàn)左右兩側氣源輪流供氣。